Vacuum sensors (เซนเซอร์วัดสูญญากาศ)
Vacuum sensors คืออะไร?
Vacuum Sensor เป็น เซนเซอร์ที่ใช้สำหรับวัดแรงดันต่ำหรือแรงดันสูญญากาศ โดยปกติแล้วจะใช้ในกระบวนการที่ต้องควบคุมสภาวะแรงดันต่ำกว่าค่าบรรยากาศ เช่น ในอุตสาหกรรมการผลิต, การแปรรูปอาหาร, เทคโนโลยีห้องปฏิบัติการ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
หลักการทำงานของ Vacuum sensors
Vacuum sensor จะทำการวัดระดับแรงดันและแปลงข้อมูลเป็นสัญญาณไฟฟ้าเพื่อส่งไปยังตัวประมวลผลหรือระบบควบคุม แรงดันที่วัดได้มักจะอยู่ในหน่วยต่างๆ เช่น Torr, Pascal (Pa) หรือ mbar (millibar)
ประเภทของ Vacuum Sensors
- Capacitive Vacuum Sensor ใช้วัดแรงดันต่ำโดยการวัดการเปลี่ยนแปลงของความจุไฟฟ้า (Capacitance) และมีความแม่นยำสูง ใช้ในงานที่ต้องการความละเอียดมาก เช่นในห้องปฏิบัติการ
- Piezoelectric Vacuum Sensor ใช้หลักการของ Piezoelectric Effect ซึ่งเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงแรงดัน จะเกิดการเปลี่ยนแปลงแรงดันไฟฟ้าในวัสดุ ใช้งานง่ายและทนทานต่อสภาพแวดล้อม
- Thermocouple Vacuum Sensor ใช้หลักการวัดอุณหภูมิร่วมกับการเปลี่ยนแปลงแรงดัน ใช้ในช่วงแรงดันต่ำ มักใช้ในงานอุตสาหกรรมทั่วไปที่ไม่ต้องการความแม่นยำสูงมาก
- Ionization Vacuum Sensor วัดแรงดันสุญญากาศโดยการใช้กระแสไฟฟ้าผ่านแก๊สและตรวจจับการไอออนไนซ์ เหมาะสำหรับการวัดแรงดันในระดับสูงสุด (Ultra-High Vacuum)
