Thermal Mass Flow Meter คือเครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซในกระบวนการอุตสาหกรรมต่างๆ ไม่เพียงแค่วัดปริมาณก๊าซที่ไหลผ่านเท่านั้น แต่ยังมีประสิทธิภาพในการทำงานที่สูง ใช้งานได้ในหลายอุตสาหกรรม โดยใช้หลักการทำงานแบบการถ่ายเทความร้อน ซึ่งจะประกอบด้วยเซนเซอร์ความร้อนสองตัวที่ติดตั้งในกระแสของก๊าซ เซนเซอร์ตัวหนึ่งจะถูกให้ความร้อน ในขณะที่อีกตัวจะวัดอุณหภูมิของก๊าซที่ไหลผ่าน โดยการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิจะเป็นตัวบ่งชี้ถึงอัตราการไหลของก๊าซ
ซึ่งความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างเซนเซอร์ทั้งสองนั้นจะนำไปแปลงเป็นสัญญาณไฟฟ้าที่สามารถใช้คำนวณอัตราการไหลของก๊าซได้โดยตรง
